手套箱故障分析
一、风机跳闸
1. 检查设备是否有溶剂过滤系统，观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确；
2. 是否风机未开启而设备已经开始工作了？这说明净化柱上的挡板阀的反馈位置不对；
3. 也可能造成断路器跳闸或变频器自保的原因就是负载过大。
二、风机出现杂音轴承缺油，需专业人士拆开风机，加油保养。
三、手套箱不断漏气
1. 设备本身密封出现问题，保压检漏；
2. 过渡舱舱门未关严；
3. 脚踏是否被东西压住；
4. 净化系统管路电磁阀被杂质卡住。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，手套箱专用氧分析仪厂家，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱常见故障及解决办法
1、循环和分析仪同时关掉
原因：①箱内压力瞬间过高，超过+12mbar，系统自动保护；②电压不稳，造成系统保护。
办法：①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常，箱体真空阀或补1气阀是否损坏，压力回复正常后，再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉，无法运行。
2、大、小仓无法补1气
原因：①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞；②电磁阀是否没有打开。
办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②检查线路及电磁阀。
3、大小仓无法抽气
原因：①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气；②仓门没关紧，或是大小仓密封圈松动。
办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②关紧仓门，检查大小密封圈；③检查工作气压是否过低（因为大仓抽气阀是气动阀）。
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